![]() SPA245/10 |
![]() SPA255/20 |
● 优异的光学均匀性
● 精确的偏光角控制
● 良好的热控制
● 快速灵活的客制化服务
型号 | SPA245/10 | SPA255/20 |
波长 | 254nm/ 313nm/ 365nm | 254nm/ 313nm/ 365nm |
偏光角精度 | ±0.08° | ±0.08° |
照度均匀性 | < 5% | < 5% |
基板尺寸 | 730mm×920mm | 1100mm×1300mm |