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300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices制造


SSB300

SSB320

SSB380

SSB300系列步进投影光刻机面向6英寸以下中小基底先进光刻应用领域,满足HB-LED、MEMS和Power Devices等领域单面或双面光刻工艺需求。
   产品特征

● 高分辨率,分辨率可达0.8μm

● 高速在线MAPPING技术

● 高精度拼接

● 多尺寸基底自适应切换

● 高产能

● 高精度套刻

● 完美匹配ALIGNER

   主要技术参数
 型号  SSB300  SSB320  SSB380
 分辨率  0.8μm 2μm  1.5μm
 曝光光源  i-line mercury lamp  i-line mercury lamp i-line mercury lamp
 基底尺寸  2~6 inches  2~6 inches  2~6 inches
 工艺应用  支持LED PAD/PSS工艺 支持LED PAD工艺 支持LED PAD工艺

 可选配置

 背面对准和可变狭缝(Variable Slit)

 背面对准和可变狭缝(Variable Slit)

 背面对准和可变狭缝(Variable Slit)

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